嘉興科民電子設備技術有限公司

科民 · 應用案例

原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺
助力北大
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北京大學成功制備性能優越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關鍵的HfO2高k柵介質低溫制備方案
熱烈祝賀科民電子20套集成電路設備成功進入廈門大學產教融合平臺
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科民電子集成電路產教融合成套設備含曝光機、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機共20臺

科民 · 產品中心

原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

 刻蝕機ICP-100
刻蝕機ICP-100
刻蝕機ICP-100
刻蝕機ICP-100
 刻蝕機RIE-100
刻蝕機RIE-100
刻蝕機RIE-100
刻蝕機RIE-100
 磁控濺射臺-PVD-100
磁控濺射臺-PVD-100
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 雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
雙腔熱型原子層沉積機TALD-D系列
 365nmLED光源曝光機
365nmLED光源曝光機
365nmLED光源曝光機
 超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
超大批量生產型原子層沉積系統TALD-1000系列
生產型原子層沉積系統

走進科民

海外微電子設備制造團隊與  中科院微電子所  8室專家共同成立

科民 · 新聞中心

原子層沉積(ALD)設備等高端半導體設備、全套半導體線的研發和生產

2022

10 09

為了培育選樹具有行業頂尖技能水平的科技創新先進典型,大力弘揚勞模精神、勞動精神、工匠精神和科學家精神,進一步激發廣大科技工作者建功立業的積極性、主動性和創造性,10月8日,中國科學院工會舉辦中國科學院第三屆“科苑名匠”發布活動,全院共12個團隊和7名個人被授予中國科學院第三屆“科苑名匠”稱號??泼耠娮佣麻L夏洋榮獲中國科學院第三屆“科苑名匠”稱號。 夏洋老師長期專注于集成電路技術及裝備研究,為微電子所儀器設備研發中心創始人、嘉興科民電子設備技術有限公司董事長,帶領研究團隊瞄準國家戰略需求,突破了多項關鍵核心技術。他在不斷的努力與嘗試中攻堅克難,在多項國家重大科技計劃項目中承擔微電子儀器設備的研發工作,成功開發出原子層沉積系統、浸沒式等離子注入機、電感耦合等離子體刻蝕機、365納米i線曝光機等集成電路裝備,同時研發出原創變電場原子層沉積、吸附反應外延等裝備,實現了我國集成電路高端設備的重大突破。研發的儀器設備在國內外科研單位銷售超千臺,有力的支撐了中科院、北京大學、清華大學等百余家高校院所的前沿科學研究,同時通過核心技術支持和促進了我國多家集成電路裝備龍頭企業的發展。作為一名老師,他為了能讓學生更直觀的了解和掌握微電子儀器操作方法,配套專業課程專門研發了集成電路系列科教融合設備,采用創新的“講授+實驗”教學模式,為集成電路工藝技術培養了大量的工程性專業人才。

2022

10 08

9月29日下午,嘉興市副市長倪滬平蒞臨我司考察調研,市政府副秘書長王榮、市科技局、南湖區政府、嘉興科技城相關領導陪同調研??泼耠娮友邪l部負責人明帥強、市場部負責人郭耀亮、生產部負責人陶曉俊等參加接待并陪同調研。

2022

10 08

9月6日上午,晶科能源首席科學家王琪來嘉興科民電子參觀指導,微電子設備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術重點實驗室、國家發改委“雙創”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術的裝備與器件技術服務公共平臺、集成電路產教融合創新平臺。

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